
半導體與材料測試中,精度與效率缺一不可。華測儀器HCCS-4探針臺以高準度為關鍵,整合實用功能,適配多元化測試需求,是為實驗室與生產(chǎn)線設計的測試裝備。
該設備定位準確,X-Y移動平臺行程4×4英寸,具備1μm移動精度,采用準確傳動結(jié)構(gòu),可準確定位測試點位,避免數(shù)據(jù)失真,保障測試數(shù)據(jù)可信度。樣品臺支持360°旋轉(zhuǎn)及準確微調(diào),可實現(xiàn)多角度重復測試,定位準確、數(shù)據(jù)波動小,保障數(shù)據(jù)穩(wěn)定性與可重復性,降低實驗誤差、優(yōu)化測試效率。設備具有溫控能力,溫度范圍覆蓋室溫至400℃,可模擬材料實際服役溫度;0.1℃控溫精度,能穩(wěn)定維持溫度恒定,適配高溫等材料的電學性能測試。測試功能多元化,支持高溫I-V、擊穿、介電溫譜等多種項目,可評估材料與器件高溫電學特性,為研發(fā)優(yōu)化、性能歸因提供依據(jù),適配多領域需求。U型平臺可搭載2~4個探針座,支持直流、射頻兼容,適配多種測試儀表,無需額外轉(zhuǎn)接設備;探針座兼容多種線材,可滿足不同精度測試需求。采用中心吸附孔+多圈吸附環(huán)設計,可牢固固定薄片、薄膜、晶圓等多種樣品;配備電學單獨樣品臺,拓寬樣品適配范圍,可滿足特殊樣品測試需求。搭載高清體式顯微鏡,成像清晰,便于快速找點對針;支持可選CCD成像系統(tǒng),實現(xiàn)測試可視化記錄,兼顧精度與效率,優(yōu)化測試流程順暢性。
華測儀器HCCS-4探針臺憑借高準度、高適配性,契合半導體與材料測試需求,為技術創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級提供有力測試支撐。華測儀器的業(yè)務涵蓋從單臺測試設備供應到整體實驗室規(guī)劃建設的全過程。建設絕緣材料或功能材料電性能檢測實驗室,華測儀器可提供從方案設計到交付驗收的完整服務。

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