全國服務咨詢熱線：
13911821020
13911821020
產品分類
Product Category詳細介紹
| 品牌 | 華測儀器 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合 |
華測儀器Huace-800G高真空晶圓熱處理退火裝置
價格僅供參考，如需獲取更詳盡的產品技術規(guī)格書、定制方案或應用案例，歡迎致電我司技術工程師
Huace-800G高真空晶圓熱處理退火裝置由華測儀器生產，設備的反射鏡采用高準度曲率設計，通過五軸加工系統(tǒng)制造，以維持更高的反射效率。反射鏡主要分為圓形和拋物線型兩種，可滿足不同材料在不同溫度控制條件下的測試需求。
產品優(yōu)勢
高速加熱與降溫方式
高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統(tǒng)，增設氣體降溫裝置，可實現快速冷 卻。
溫度高準度控制
過紅外鍍金聚焦爐和溫度控制器的組合使用，可以準確控制樣品的溫度(遠比普通加溫方式)。此外，降溫速度和保持在不同溫度下可提供高準度
不同環(huán)境下的加熱與降溫
加熱/降溫可用真空、氣氛環(huán)境、低溫(高純度性氣體 靜態(tài)或流動)操作簡單，使用石英玻璃制成。紅外線可傳到加熱/ 降溫室。
產品參數
產品型號：Huace-800G
產品尺寸：6寸晶圓或150 x 150mm產品
溫度范圍：RT ~ 800°C
升溫速度：＜100℃/s可編程（此溫度不含載盤的升溫速度）
溫度均勻度：±5 °C ≤ 500 ℃
±1 % > 500 ℃
溫度控制重復性：±1 °C
溫控方式：PID 溫控
產品咨詢
電話
微信掃一掃
當前位置：
地址：北京海淀區(qū)
郵箱：LH13391680256@163.com
傳真：